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Neue R043/053 "echte" L-Bewegungsventile.

VAT Produktentwickler haben die neueste Generation von L-förmig bewegten Transferventilen für Halbleiter-Anwendungen für 200mm, 300mm und 450mm sowie für leuchtstarke LED-Anwendungen (HB-LED) herausgebracht.

Diese VAT-Transferventile fussen auf dem Prinzip der echten L-Bewegung. Sie sind so ausgelegt, dass sie korrosiven Prozessgasen (u.a. Ätzen und CVD) widerstehen, lange Serviceintervalle aufweisen und damit niedrige Gebrauchskosten ausweisen. Der Ventilantrieb beinhaltet eine intergierte, mechanisch-pneumatische Folgesteuerung von höchster Zuverlässigkeit, die auch in höchst anspruchsvollen Anwendungen mit vollständig geschützten Balgdurchführungen zu überzeugen vermag.

Diese Ventile erlauben einen einfachen Telleraustausch über den leicht abnehmbaren oberen Gehäusedeckel. Nach dem Austausch des Tellers ist keine Justierung notwendig. Eine gleichmässige Verpressung wird über die echte L-Bewegung, die Selbstjustierung und über Anpassung der Dichtkraft in Abhängigkeit des verwendeten Dichtmaterials erreicht. Dies führt zur längstmöglichen Lebensdauer und zu stark reduzierter Partikelerzeugung.

VAT bietet diese Ventile in der Standardausführung und als kundenangepasste Versionen an.